÷´Ü ºÐ¼®±â±â Á¦Á¶ º¥Ã³È¸»çÀÎ ¿µ¸°±â±â°¡ ¼¼°èÀûÀÎ Àüó¸® Àåºñ ȸ»çÀÎ ¹Ì±¹ cds»ç¿Í
gc ½Ã·áÀüó¸® Àåºñ¿¡ ´ëÇÑ Á¦ÈÞ Çù¾àÀ» ü°áÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ½Ã·á Àüó¸®ÀÇ ¹ø°Å·Î¿ò°ú
º¹ÀâÇÔÀ» ½±°í °£ÆíÇÏ°Ô Ã³¸®ÇØÁÙ ¼ö ÀÖ´Â gc ½Ã·áÀüó¸® Àåºñ¸¦ ¸¸³ªº¸½Ê½Ã¿À.
|
|
 |
|
 |
½Ã·á Áß¿¡
Èֹ߼º ¹°ÁúÀÌ ¹Ì·®Á¸ÀçÇÏ´Â °æ¿ì, ¹Ì·®ÀÇ ¼ººÐÀ» ÃßÃâ·³óÃàÇϴµ¥
»ç¿ëµÇ´Â Àåºñ·Î ¾×ü½Ã·áÀÇ Àü󸮿¡ ÀûÇÕÇÑ ÀåºñÀÔ´Ï´Ù. ȯ°æ(À½¿ë¼ö ¹×
Æó¼ö Áß voc ºÐ¼®, Åä¾ç ¿À¿°ºÐ¼®), ½Äǰ(Çâ¹Ì·á ºÐ¼®, Æ÷ÀåÀç Áß
ÀÜ·ù À¯±â¹° ºÐ¼®), Á¦¾à(Á¤Á¦, ĸ½¶ Áß ÀÜ·ù¿ë¸Å ºÐ¼®), ÈÀåǰÀÇ Çâ
ºÐ¼®, °íºÐÀÚ ÀÜ·ù ´Ü·®Ã¼ ¹× ÀÜ·ù¿ë¸Å ºÐ¼® µî¿¡ È¿°úÀûÀ¸·Î »ç¿ëÇÒ ¼ö
ÀÖ½À´Ï´Ù. |
|
|
 |
|
 |
½Ã·á Áß ºÐ¼®ÇϰíÀÚ ÇÏ´Â ¼ººÐÀ» º¹ÀâÇÑ
ÃßÃâ°ú À¯µµÈ °úÁ¤À» °ÅÄ¡Áö ¾Ê°í ¿ºÐÇØ ÀåÄ¡¿Í ¿¬°áÇÏ¿© ¿ºÐÇØ½ÃÄÑ
½Ã·á¸¦ Á¤¼º, Á¤·® ºÐ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. cds 8000 ½Ã·á ³óÃà±â´Â
cds 1000 ¶Ç´Â cds 2000 pyroprobe¿Í ¿¬°áÇÏ¿© »ç¿ë
°¡´ÉÇϵµ·Ï ¼³°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù.
|
|
|
 |
|
 |
½Ã·á(¾×»ó, °íÇü»ó) Áß¿¡ ¹Ì·® Á¸ÀçÇÏ´Â
Èֹ߼º ¶Ç´Â Áß°£ Èֹ߼º À¯±âÈÇÕ¹°À» ¹ÐÆóµÈ ¹ÙÀÌ¾ó¿¡ ³Ö°í °¡¿ÇÏ¿©
¹ÙÀ̾óÀÇ ±âü»ó, Áï Çìµå½ºÆäÀ̵å·Î È®»ê½ÃÅ´À¸·Î½á ÃßÃâ ¹× ³óÃàÇÏ¿©
±âüũ·Î¸¶Åä±×·¡ÇÁ¿¡ ÁÖÀÔÇÏ´Â ½Ã·á Àüó¸® Àåºñ·Î¼ ¹°, Åä¾ç, À½½Ä,
Æ÷ÀåÀç ±×¸®°í ±â°è µîÀ¸·Î ºÎÅÍ Èֹ߼º À¯±âÈÇÕ¹°À» ÃßÃâÇÒ ¶§ »ç¿ëµË´Ï´Ù.
cds 8000 ½Ã·á ³óÃà±â´Â ¸ð¾ç°ú Å©±â¿¡ »ó°ü¾øÀÌ ¾î¶°ÇÑ gc¿¡µµ
°¢±â ´Ù¸¥ dynamic headspace »ùÇ÷¯¸¦ ½±°Ô ÀåÂøÇÏ¿© »ç¿ëÇÒ
¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
|
|
 |
|
 |
ºÎÇǰ¡ Å« ½Ã·áÀÇ °æ¿ì Àüó¸® °úÁ¤À» ¿©·¯ ¹ø ¼öÇàÇØ¾ß ÇÏ´Â ÀϹÝÀûÀÎ Çìµå½ºÆäÀ̽º ¹æ¹ý°ú ´Þ¸® bulk headspace cds 6500 autosampler¸¦ »ç¿ëÇÔÀ¸·Î½á ½Ã·á¸¦ ÆÄ±«ÇÏÁö ¾Ê°í º¸´Ù ½±°Ô È¿°úÀûÀ¸·Î ºÐ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ´õ±¸³ª gc³ª gc/ms¸¦ º¸À¯ÇÏ°í °è½Ã´Ù¸é bulk headspace cds 6500 autosampler¸¸À¸·Îµµ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ µîÀ» ½±°Ô ºÐ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ¸Å¿ì °æÁ¦ÀûÀÔ´Ï´Ù.
|
|
|
 |
|
 |
°íü, Á¡¼º ¾×ü ±×¸®°í °¡·ç ½Ã·á¸¦ º¹ÀâÇÑ ÃßÃâ°ú À¯µµÃ¼È °úÁ¤À» ¼öÇàÇÒ ÇÊ¿ä¾øÀÌ Á÷Á¢ ºÐ¼®µË´Ï´Ù. °°Àº ½Ã·á¿¡ ´ëÇÏ¿© ¿Å»Âø°ú ¿ºÐÇØ ¸ðµÎ °í¼º´ÉÀ¸·Î ¼öÇàÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °¡¿ ¹æ¹ýÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. autosamplerÀÇ ³ôÀº ÀçÇö¼ºÀ¸·Î ǰÁú°ü¸®¿Í ÀÀ¿ë¹æ¹ý°³¹ßÀÌ À¯¸®ÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ microsoft windows ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î¿Í ȣȯ¼ºÀÌ ÀÖ¾î ¹æ¹ý°³¹ßÀÌ ¿ëÀÌÇϰí glp/gmp ±ÔÁ¤¿¡ ÀûÇÕ ÇÕ´Ï´Ù.
|
|
|
 |
|
 |
cds 300mm wafer desorber´Â ÀÀÃà°¡´É¹°Áú°ú ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î±âÆÇÀÇ ¿À¿°¹°ÁúÀ» Å»Âø½Ãų ¼ö
ÀÖµµ·Ï Ưº°È÷ °í¾ÈµÈ °ÍÀÔ´Ï´Ù. ¿Âµµ¸¦ Á¶ÀýÇÔÀ¸·Î½á À¯±â ¿À¿°¹°ÁúÀ» ȸ·ÎÆÇÀÇ Ç¥¸éÀ¸·ÎºÎÅÍ
Èֹ߽ÃŰ°í ºÐ¼®±â±â·Î º¸³À´Ï´Ù.
wafer desorber´Â ÃֽŠcds 8000 concentrator³ª multi-channel 6500 bulk sampler¿¡
¿¬°á½ÃÄÑ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¾î¶°ÇÑ ±â±â¿Í ¿¬°á½ÃŰµç »ó°ü¾øÀÌ ½Ã·á´Â ÈíÂø Æ®·¦À» Åë°úÇÏ°Ô µË´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ Å« waferÀÇ ºü¸¥ °¡¿°ú ³Ã°¢ÀÌ È¿À²ÀûÀ¸·Î ÀÌ·ç¾îÁý´Ï´Ù.
chamberµðÀÚÀÎÀº ½Ã·áÀÇ Æ÷Áý ½Ã°£À» ÁÙÀ̱â À§ÇØ ºÒÇÊ¿äÇÑ °ø°£À» ÃÖ¼ÒÈÇÏ¿´À¸¸ç ³»ºÎ´Â
silcosteeltmÀ¸·Î ÄÚÆÃµÇ¾î ÀÖ¾î Ȱ¼ºÀÌ Å« ½Ã·áµµ È¿°úÀûÀ¸·Î ºÐ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
|
|